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光电产品有机废气处理 半导体集成电路、TFT-LCD、LED有机废气治理

2018-10-06
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光电产品有机废气处理 半导体集成电路、TFT-LCD、LED有机废气治理
详细介绍:

光电产品有机废气处理 半导体集成电路、TFT-LCDLED有机废气治理

加拿大28算法公式多年在光电产品制造行业有机废气处理中总结,光电产品产生有机废气污染的主要有五类产品的生产过程:半导体集成电路、TFT-LCDLED、印制电路板(PCB)、电子终端产品,下面重点介绍半导体集成电路、TFT-LCDLED、印制电路板(PCB)有机废气治理。

光电产品有机废气处理 半导体集成电路、TFT-LCD、LED有机废气治理

1)半导体集成电路

半导体制造工艺中VOCs 主要来源于光刻、显影工序,在这些工序中要用有机溶液(如异丙醇)对晶片表面进行清洗,其挥发产生的废气是有机废气的来源之一。同时,在光刻过程中使用的光阻剂(光刻胶)中含有易挥发的有机溶剂,如乙酸丁酯等,在晶片处理过程中产生的有机废气也要挥发到大气中,是VOCs 产生的又一来源。

2TFT-LCD

包括检查和测试在内,TFT-LCD 的制造生产工艺可达到100 多道工序,生产过程中使用多种化学有机溶剂和特殊气体,产生的VOCs 量大,组分复杂。TFT 液晶面板生产排放VOCs 污染物的工序主要集中在阵列工程和彩膜工程两大部分。阵列工程中的光刻(涂胶、曝光和显影),以及彩膜工程中的黑色矩阵BM 膜制造、彩色矩阵膜形成(红、绿、蓝,RGB)、保护膜生成、MVA 膜、PSPHoto Spacer)膜生成是产生VOCs 的主要工艺。同时,在成盒工程中清洗工序使用的有机溶剂挥发也会产生少量的VOCsTFT-LCD 的制造过程中产生的VOCs 主要是以异丙醇为主,其次依序是丙酮、单甲基醚丙二醇、单甲基醚丙二醇乙酸酯,这四种成分占了全部VOCs量的90%以上。

3LED

LED 电子组件生产产生的VOCs 污染物主要来源于基片处理和光刻,LED 生产过程中产生VOCs 的种类主要有三氯乙烯、丙二醇醚酯、异丙醇、丙酮、丁酮等。

 

半导体集成电路、TFT-LCD LED 废气治理技术

 

半导体集成电路、TFT-LCD LED 三类产品的生产中所产生的废气的情况大致相同,除了VOCs 以外,还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体,风量大、浓度低。一般采用水吸收+沸石转轮吸附浓缩-高温焚烧的组合技术进行治理。

第一步通过水吸收(吸收塔)可以去除废气中的酸性气体、碱性气体和有毒气体。在有些情

况下,酸性气体、碱性气体和有毒气体集中单独排放,不含有机物或有机物的浓度很低,只通过水吸收工艺即可,无需加装吸附设备。如TFT-LCD 的刻蚀工艺废气治理。

第二步沸石转轮(转筒)吸附浓缩+高温焚烧,对去除了酸性气体、碱性气体和有毒气体的

低浓度有机废气通过沸石转轮(转筒)吸附浓缩后进行高温焚烧净化。该技术目前在国外已经被普遍采用,特别是在台湾地区大量的液晶显示器(TFT-LCD)的生产企业中均采用的是该技术。该技术净化效率高(可达95%以上)、运行稳定、安全性好,目前在电子生产行业废气治理中尚无更好的技术能够取代。

 

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